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上海正晞儀器設(shè)備有限公司
顯微成像解決方案 多年技術(shù)沉淀
晶圓-硅片檢測(cè)顯微鏡

研究型大平臺(tái)晶圓檢測(cè)顯微鏡ZXGP-900系列

  • 所屬分類(lèi):晶圓-硅片檢測(cè)顯微鏡
  • 瀏覽次數(shù):
  • 發(fā)布時(shí)間:2023-07-11 17:39:25
  • 產(chǎn)品概述
  • 技術(shù)參數(shù)
  • 儀器圖解
  • 成功案例

1 . 仰角可調(diào)觀察筒

0-35°觀察角度可調(diào),適合不同身高的用戶(hù),降低了對(duì)工作環(huán)境的要求,讓不同的使用者都能找到合適的觀察角度,減輕了長(zhǎng)時(shí)間工作帶來(lái)的不適與疲勞,大幅度提高工作效率。

2 . 全新離合驅(qū)動(dòng)式載物臺(tái)



ZXGP-900 采用離合式手柄,用戶(hù)按下離合扳手就可靈活移動(dòng)平臺(tái),無(wú)需長(zhǎng)時(shí)間捏緊手柄;按下離合按鈕,取消快速移動(dòng)。避免長(zhǎng)時(shí)間操作出現(xiàn)手麻現(xiàn)象,并加快觀察速度。ZMM-880DPT 引入精密導(dǎo)軌傳動(dòng)機(jī)構(gòu),移動(dòng)更輕更順暢,產(chǎn)品更加穩(wěn)定可靠。

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3 . 安全、高速的電動(dòng)式物鏡轉(zhuǎn)換器


設(shè)有前進(jìn)、后退兩檔切換模式,可快速、準(zhǔn)確定位到所需要的觀察倍率,重復(fù)定位精度高。機(jī)械式的切換模式,有效提升了轉(zhuǎn)換器的使用壽命。

 


4 . 按鍵觸手可及,助您提高工作效率

ZXGP-900 物鏡與孔徑光闌采用全新的電動(dòng)控制系統(tǒng),其操作按鍵位于儀器正前方,讓您觸手可及。人性化的電動(dòng)設(shè)計(jì)不僅避免了頻繁的手動(dòng)操作步驟,也使您的檢測(cè)工作也更加準(zhǔn)確、靈活。




5 . 豐富的應(yīng)用領(lǐng)域

ZXGP-900集成了明場(chǎng)、暗場(chǎng)、偏光、DIC 等多種觀察功能。 廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、FPD、電路封裝、電路基板、材料、鑄件金屬陶瓷部件、精密磨具等檢

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6 . 防震支架設(shè)計(jì)

機(jī)身由六端支架支撐,低重心、高穩(wěn)定性全金屬機(jī)架,具備強(qiáng)效的抗震功能,確保像質(zhì)穩(wěn)定。

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7 . 豐富的應(yīng)用領(lǐng)域

ZXGP-900集成了明場(chǎng)、暗場(chǎng)、偏光、DIC 等多種觀察功能。 廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、FPD、電路封裝、電路基板、材料、鑄件金屬陶瓷部件、精密磨具等檢

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光學(xué)系統(tǒng)

無(wú)限遠(yuǎn)色差校正光學(xué)系統(tǒng)

觀察方式

明場(chǎng)/暗場(chǎng)/偏光/DIC

觀察筒

無(wú)限遠(yuǎn)鉸鏈三通觀察筒,0-35°傾角可調(diào),正像,瞳距調(diào)節(jié) :50-76mm,分光比 100:0 或 0:100

目鏡

高眼點(diǎn)大視野平場(chǎng)目鏡 PL10X/25mm,視度可調(diào),可帶單刻度十字分劃版

物鏡

無(wú)限遠(yuǎn)明暗場(chǎng)半復(fù)消金相 DIC 物鏡 5X 10X 20X 50X 100X

無(wú)限遠(yuǎn)長(zhǎng)工作距明暗場(chǎng)半復(fù)消金相 DIC 物鏡 20X

無(wú)限遠(yuǎn)長(zhǎng)工作距明暗場(chǎng)半復(fù)消金相物鏡 50X 100X

轉(zhuǎn)換器

明暗場(chǎng)六孔電動(dòng)轉(zhuǎn)換器,帶 DIC 插槽

機(jī)架組

反射式機(jī)架,前置低手位粗微同軸調(diào)焦機(jī)構(gòu)。粗調(diào)行程35mm,微調(diào)精度0.001mm。帶有防止下滑的調(diào)節(jié)松緊裝置和隨機(jī)上限位裝置。內(nèi)置 100-240V 寬電壓系統(tǒng)

透反機(jī)架,前置低手位粗微同軸調(diào)焦機(jī)構(gòu)。粗調(diào)行程 35mm,微調(diào)精度 0.001mm。帶有防止下滑的調(diào)節(jié)松緊裝置和隨機(jī)上限位裝置。內(nèi)置 100-240V 寬電壓系統(tǒng)

載物臺(tái)

右手位 14×12 英寸三層機(jī)械移動(dòng)平臺(tái),低手位 X、Y 方向同軸調(diào)節(jié) ;平臺(tái)面積 718mmX420mm,移動(dòng)范圍 :356mmX305mm

帶離合器手柄,可用于全行程范圍內(nèi)快速移動(dòng) ;玻璃載物臺(tái)板 ( 反射用)

電動(dòng)平臺(tái)

面積 495mmX641mm,移動(dòng)范圍 :306mmX306mm ;軟件控制 X、Y 移動(dòng),重復(fù)定位精度,(3+L/50)μm 帶平板平臺(tái)

照明系統(tǒng)

明暗場(chǎng)反射照明器 , 帶可變電動(dòng)孔徑光闌,視場(chǎng)光闌 , 中心均可調(diào) ;帶明暗場(chǎng)照明切換裝置 ;帶濾色片插槽與偏光裝置插槽

攝影攝像附件

0.5X/0.65X/1X 攝像接筒,C 型接口,可調(diào)焦

其他

起偏鏡插板,固定式檢偏鏡插板,反射用干涉濾色片組 ;高精度測(cè)微尺 ;DIC 組件


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