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上海正晞儀器設(shè)備有限公司
顯微成像解決方案 多年技術(shù)沉淀
晶圓-硅片檢測(cè)顯微鏡

研究型硅片檢測(cè)顯微鏡ZXGP-500系列

  • 所屬分類:晶圓-硅片檢測(cè)顯微鏡
  • 瀏覽次數(shù):
  • 發(fā)布時(shí)間:2023-07-11 17:42:48
  • 產(chǎn)品概述
  • 技術(shù)參數(shù)
  • 儀器圖解
  • 成功案例

一、用途


ZXGP-500系列明暗場(chǎng)硅片檢測(cè)顯微鏡是適用于對(duì)太陽(yáng)能電池硅片的顯微觀察。本儀器配有大移動(dòng)范圍的載物臺(tái)、落射照明器、長(zhǎng)工作距離的平場(chǎng)消色差物鏡、大視野目鏡,圖像清晰、襯度好,同時(shí)配有偏光裝置,及其高像素的數(shù)碼攝像頭. 本儀器配有暗場(chǎng)物鏡,使觀察硅片時(shí)圖像更加清晰,是檢測(cè)太陽(yáng)能電池硅片的”金字塔” 的微觀形貌分布情況,及硅片的缺陷分析的理想儀器. 


硅片檢測(cè)顯微鏡可以觀察到肉眼難觀測(cè)的位錯(cuò)、劃痕、崩邊等;還可以對(duì)硅片的雜質(zhì)、殘留物成分分析.雜質(zhì)包括: 顆粒、有機(jī)雜質(zhì)、無(wú)機(jī)雜質(zhì)、金屬離子、硅粉粉塵等,造成磨片后的硅片易發(fā)生變花、發(fā)藍(lán)、發(fā)黑等現(xiàn)象,使磨片不合格. 是太陽(yáng)能電池硅片生產(chǎn)過程中常用的檢測(cè)儀器之一。

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技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)


標(biāo)準(zhǔn)配置

大視野 WF10X(視場(chǎng)數(shù)Φ22mm)

無(wú)限遠(yuǎn)長(zhǎng)工作距離平場(chǎng)消色差物鏡


PL L10X/0.25   工作距離:20.2 mm




PL L60X/0.70   工作距離:3.18 mm




目鏡筒




調(diào)焦機(jī)構(gòu)




轉(zhuǎn)換器




載物臺(tái)




落射照明系統(tǒng)




配置黃、藍(lán)、綠濾色片與磨砂玻璃片



透射照明系統(tǒng)



集光鏡中內(nèi)置視場(chǎng)光欄



6V30W鹵素?zé)?、亮度可調(diào)

防霉系統(tǒng)

 

電腦型(ZXGP-500C)

數(shù)碼型(ZXGP-500E)



可選配件



目鏡




物鏡




CCD接頭




攝像儀




數(shù)碼相機(jī)接頭




分析軟件

二維圖像測(cè)量分析軟件




標(biāo)簽

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