儀器特點

四軸CNC控制，自動尋邊、自動測量、自動對焦

采用移動橋式精密花崗巖架構(gòu)，滿足高精度，高穩(wěn)定性

高精度0.5um分辨率進口開放光柵系統(tǒng)

全閉環(huán)伺服運動控制系統(tǒng)，速度快、精度高

搖桿/鼠標(biāo)操作，可單獨或協(xié)同控制

表面光源為程控5環(huán)8區(qū)LED冷光源，平行輪廓光源，亮度均連續(xù)可調(diào)

根據(jù)客戶工件的具體情況，提供不同的照明組合

可聚焦測高，可加裝接觸式測頭和激光測頭模組

可以按照客戶需求提供定制化設(shè)計

技術(shù)參數(shù)